OptoSurf在線表面測量系統可靠、準確、高重復性：對于每個測量設備在預定的公差值范圍內，分辨率極限和測量重復性高是設備的*大優勢之一。
傳感器*小可檢測的粗糙度值大約Ra 1nm，長度50mm工件表面，可檢測直線度偏差約<0.03μm,且測量能力指數cg>1.33
測量技術需要現代的軟件配合，以便能夠處理大量的測量數據。OS 500軟件能夠記錄測量數據，以及后續的測量數據分析和表示。通過定義公差值，不合格產品可以被自動識別出來。并且可以通過使用條碼掃描器識別零件，使得運行零件測量程序變得更加智能。基于數據庫的軟件，可通過矩陣掃描儀識別零件，全自動測量過程，qs STAT數據導出，三維圖形（Aq，I，M，形狀，波紋度）原始數據的表示過濾數據的表示；高、低、帶ISO濾波器設置 。
